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射频磁控生长薄膜

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作者：喵喵爱吃鱼 发表于 2018-10-19 15:11:38
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溅射的靶材是陶瓷，想要能提高沉积速率，功率，压强，衬底温度，靶基距，氩氧比，如何搭配？
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